ASML, 중국에서 '스페셜 에디션'DUV 리소그래피 출시

DigiTimes에 따르면 ASML은 중국 시장을 위한 특수 버전의 DUV 리소그래피를 출시하여 새로운 네덜란드 판매 라이선스 금지를 우회하려고, 시도하고 있다고 IT 하우스는 7월 6일에 보도했습니다. 소식통에 따르면 이 프로젝트가 진행되면 SMIC와 화홍과 같은 중국 반도체 회사는 네덜란드 장비를 사용하여 28nm 및 더 성숙한 공정에서 칩을 계속 생산할 수 있다고 합니다. Cf)리소그래피 : 반도체 제작 공정 중 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 형성하는 공정. 스페셜 에디션 DUV 리소그래피는 10년 전에 도입되어 이번 공식 금지 조치에 포함되지 않은 구형 모델인 Twinscan NXT: 1980Di 리소그래피 시스템을 기반으로 한다는 소식입니다. 1980Di는 이론적으로 7nm 공정을 지원할 수 있는..

2023.08.02